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KLA Corporation FILMETRICS F30 系列監控薄膜沉積，最的強的有力的工具

更新時間：2024-04-13

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KLA Corporation FILMETRICS F30 系列監控薄膜沉積，最的強的有力的工具

在線厚度測量系統

監測控制生產過程中移動薄膜厚度。高達100 Hz的采樣率可以在多個測量位置得到

F30 系列

監控薄膜沉積，最的強的有力的工具

F30 光譜反射率系統能實時測量沉積率、沉積層厚度、光學常數 (n 和 k 值) 和半導體以及

電介質層的均勻性。

樣品層

分子束外延和金屬有機化學氣相沉積: 可以測量平滑和半透明的，或輕度吸收的薄膜。這實

際上包括從氮化鎵鋁到鎵銦磷砷的任何半導體材料。

各項優點:

極大地提高生產力
低成本 —幾個月就能收回成本
A精確 — 測量精度高于 ±1%
快速 — 幾秒鐘完成測量
非侵入式 — 完的全的沉積室以外進行測試
易于使用 — 直觀的 Windows™ 軟件
幾分鐘就能準備好的系統

型號規格

*取決于薄膜種類
型號	厚度范圍*	波長范圍
F30	15nm-70µm	380-1050nm
F30-EXR	15nm - 250µm	380-1700nm
F30-NIR	100nm - 250µm	950-1700nm
F30-UV	3nm-40µm	190-1100nm
F30-UVX	3nm - 250µm	190-1700nm
F30-XT	0.2µm - 450µm	1440-1690nm

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